N11系列直線壓電馬達(dá)采用粘滑原理,將 PZT 壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為毫米級(jí)長(zhǎng)行程。它的體積非常小巧,僅 15×15×7mm^3。而它的行程卻可高達(dá) 3.6mm,非常適用于受限空間中毫米范圍行程的調(diào)整應(yīng)用。 產(chǎn)品特點(diǎn) 行程可達(dá) 3.6mm 一至三維可選 體積小、重量輕 速度可達(dá) 2mm/s 斷電自鎖 產(chǎn)品應(yīng)用 超分辨成像樣品移動(dòng) 微納裝備及制造 掃描電鏡(SEM)樣品操縱 納米聚焦與掃描 集成電路制造與檢測(cè) 顯微及納米 CT 大范圍電子束直寫(EBL) 高真空樣品精度對(duì)準(zhǔn)及調(diào)姿
N11系列直線壓電馬達(dá)
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