XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn) XY宏動(dòng)毫米行程，適于鏡頭等位置橫向調(diào)整 Z向微動(dòng)微米行程，適于光學(xué)聚焦調(diào)整 Φ35mm中心通孔，適于透射光應(yīng)用 技術(shù)參數(shù) | 型號 | XY72N81K13 | XYZ72SN81K13 | XYZ72KN81K13 | 單位 | | 運(yùn)動(dòng)自由度 | X Y | X Y Z | X Y Z |
| | XY 宏動(dòng)行程 | ±5 | ±5 | ±5 | mm | | Z 微調(diào)行程 | - | 8@150V | 8@150V | μm | | XY 最小位移增量 | <30 | <30 | <30 | nm | | Z 分辨率 | - | 0.3 | 0.1 | nm | | Z 微調(diào)傳感器 | - | SGS | - |
| | Z 線性度 | - | 0.25 | - | %F.S. | | Z 重復(fù)定位精度 | - | 0.25 | - | %F.S. | | Z 空載諧振頻率 | - | 2.5 | 2.5 | kHz | | 承載能力 | 1.5 | 正立：500 | 正立：500 | g | | 側(cè)放：200 | 側(cè)放：200 | | 中心通孔 | φ35 | φ35 | φ35 | mm | | 重量 | - | 695 | 695 | g | | 壓電螺釘連接器 | RJ11 | RJ11 | RJ11 |
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XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái) 
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