壓電螺釘運(yùn)動平臺是將直線馬達(dá)式壓電螺釘與滑臺相結(jié)合,采用壓電螺釘?shù)母呔冗\(yùn)動控制滑臺運(yùn)動。多個(gè)壓電螺釘運(yùn)動平臺間可通過組維方式形成二維或三維運(yùn)動控制。
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