P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級),非常適于動態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及 振動消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。 結(jié)構(gòu)原理 小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選平臺由一個鉸鏈支撐,并且由一個線性壓電促動器推動。鉸 鏈確定了軸心點,兼起到給壓電促動器施加預(yù)緊力的作用。單個 鉸鏈單個促動器設(shè)計的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價比高 等。如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大,推薦使用差分 驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。 壓電驅(qū)動俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(快反鏡/傾斜鏡,光束偏轉(zhuǎn),相移 器)提供比音圈電機類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬,θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 為4mrad,偏轉(zhuǎn)分辨率達0.1μrad,開環(huán)閉環(huán)可選,閉環(huán)傳感器 包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器,可獲得更高的定位精度。 超小體積設(shè)計,具有非??斓捻憫?yīng)速度,可帶載Ø15mm的 鏡片實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。 特性: • θx一維偏轉(zhuǎn) • 大偏轉(zhuǎn)角度4mrad • 亞毫秒響應(yīng)時間 • 閉環(huán)定位精度高 典型應(yīng)用 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 隔行掃描、抖動 • 激光掃描 • 光束偏轉(zhuǎn) • 光學(xué)濾波器/開關(guān) P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡技術(shù)參數(shù): 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P22.U3S P22.U3K | 單位 | 運動自由度 | θx | | 標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 2.5 | mrad±20% | 大行程范圍(-20~150V) | 4 | mrad±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 0.3/0.1 | μrad | 閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.15/- | %F.S. | 空載諧振頻率 | 3 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 3/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% | 行程 | 40 | 靜電容量 | 1.8 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼 | | 重量 | 80 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |