XP-62系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高 分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領(lǐng)域。 XP-62系列壓電納米定位臺典型應(yīng)用 • 掃描顯微 • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 生物技術(shù) • 微加工/精密控制 XP-62系列壓電納米定位臺特點(diǎn)： • 1~3維自由組合 • zui大行程68μm • zui大承載10kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S. • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 大負(fù)載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性
XP-62X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī) 構(gòu)，優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計(jì)，具有高剛度、高頻響等特 點(diǎn)，剛度可達(dá)40N/μm，空載諧振頻率高達(dá)4.2kHz， 適用于需要大負(fù)載、高頻率需求的應(yīng)用，如電化學(xué)加 工等。
XP-62X系列壓電平臺內(nèi)置帶有預(yù)緊力的封裝型壓 電陶瓷，平臺采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī) 構(gòu)，無磨損、免維護(hù)，提供*的穩(wěn)定性。
該產(chǎn)品易于與其他宏動(dòng)臺產(chǎn)品集成配套，實(shí)現(xiàn)更大 行程的精密定位。 宏微復(fù)合機(jī)構(gòu) XP-623.XY二維壓電納米定位臺配套二維宏動(dòng)臺，應(yīng)用于精密加工中。 XP-62系列壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)： 號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | XP-620.XS XP-620.XK | XP-621.XS XP-621.XK | XP-623.XS XP-623.XK | 單位 | 運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X | X | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 12 | 24 | 48 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 17 | 34 | 68 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 0.5/0.1 | 1/0.2 | 2/0.3 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | 0.15/- | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <25 | <30 | <35 | μrad | 推/拉力 | 480/160 | 480/160 | 480/160 | N | 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 40 | 20 | 10 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 4.2 | 3.3 | 2.5 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 1.5/0.8 | 3/1.6 | 5/3.2 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 300 | 150 | 75 | Hz±20% | 行程 | 100 | 50 | 25 | zui大承載 | 10 | 10 | 10 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 3.6 | 7.2 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | | 重量 | 150 | 250 | 450 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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