壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)進(jìn)行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保了產(chǎn)品具有的偏轉(zhuǎn)精度和超高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快,是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整。 N20系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)為一維θz旋轉(zhuǎn)臺(tái),中心透空孔直徑20mm,產(chǎn)品體積小巧,zui大旋轉(zhuǎn)角度為0.55mrad,重復(fù)定位精度達(dá)0.2%F.S.,可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 特性 • θz旋轉(zhuǎn),zui大旋轉(zhuǎn)角度達(dá)0.55mrad • 通孔直徑:Ø20mm • 閉環(huán)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 • 體積小巧 外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 閉環(huán)曲線 | | | |
小體積、中心通孔、高分辨率、高可靠性 | 頻率負(fù)載曲線 | 階躍時(shí)間短 | N20為一維θz高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái),旋轉(zhuǎn)軸位于正中心,中心通孔用于透射光應(yīng)用,采用有限元分析對(duì)微結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化,滿足動(dòng)態(tài)性以及平面導(dǎo)向精度。 平臺(tái)內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,臺(tái)體采用的柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)具有無摩擦無回彈等特點(diǎn),使其具有超高的分辨率以及可靠性。 旋轉(zhuǎn)臺(tái)面固定安裝孔便于與其他臺(tái)體機(jī)構(gòu)集成配套,也可根據(jù)用戶的需求進(jìn)行OEM定制。 | | N20系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)滿行程階躍時(shí)間約0.7ms。 |
應(yīng)用 • 光路調(diào)整 • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、干涉/計(jì)量等 大承載力適用于精密加工 N20系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)的zui大旋轉(zhuǎn)角度為0.55mrad,優(yōu)異的鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),使其承載力可達(dá)4kg,并且具有*的穩(wěn)定性,非常適用于科研及工業(yè)上精密操作、光路調(diào)整等應(yīng)用。 |