壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)系列是通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)進(jìn)行精密角度調(diào)整，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保了產(chǎn)品具有的偏轉(zhuǎn)精度和超高的穩(wěn)定性且響應(yīng)速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整。 P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)為一維θz旋轉(zhuǎn)臺(tái)，產(chǎn)品體積小巧，P21系列zui大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad， 承載能力達(dá)2kg。 特性 • θz旋轉(zhuǎn)，角度位移達(dá)8.5mrad • 承載達(dá)2kg • 閉環(huán)定位精度高 • 響應(yīng)速度快 • 體積小巧 外觀(guān)形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 閉環(huán)曲線(xiàn) | 
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小體積、高分辨率、高精度 | 頻率負(fù)載曲線(xiàn) | 應(yīng)用實(shí)例-超精密旋轉(zhuǎn)定位 | P21 θz一維旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，可以實(shí)現(xiàn)zui大8.5mrad的旋轉(zhuǎn)，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。 采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，臺(tái)體采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，無(wú)摩擦、無(wú)回差，可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。 | 
| P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以與芯明天任意平臺(tái)或傾斜臺(tái)配合使用，組成多軸精密壓電定位臺(tái)，用于多維精密直線(xiàn)與旋轉(zhuǎn)定位操作。 
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應(yīng)用 • 光路調(diào)整 • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線(xiàn)偏轉(zhuǎn)、干涉/計(jì)量等 驅(qū)動(dòng)控制方式 P21為θz一維壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)，單通道壓電控制器即可驅(qū)動(dòng)控制，閉環(huán)版本P21配套E01系列閉環(huán)控制器，實(shí)現(xiàn)θz高精度旋轉(zhuǎn)定位控制。 
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