壓電掃描管是可以XYZ三維運(yùn)動(dòng)的壓電陶瓷管，用于三維微掃描與定位，如AFM原子力顯微鏡等。 工作原理： 壓電掃描管掃描器為壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個(gè)電極、 內(nèi)壁一體或者分區(qū)電極的壓電陶瓷管，當(dāng)外部施加一個(gè)正電壓到某 一個(gè)區(qū)域時(shí)，陶瓷管垂直方向收縮，使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾 斜，同時(shí)施加電壓會(huì)使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。 壓電掃描管尺寸范圍： 外徑 | 壁厚 | 高度 | 1.524mm | 0.254mm | | 2.54mm 3.175mm | 0.3048mm 0.381mm | 3.175mm至 76.2mm | 6.35mm | 0.508mm | | 9.525mm | 0.762mm | |
技術(shù)參數(shù)： 型號(hào) | 長(zhǎng) [mm] | 外徑 [mm] | 壁厚 [mm] | zui大電壓 [V] | 掃描范圍 [μm] | Z軸位移 [μm] | 靜電容量/ 分區(qū)[nF] | 1005 | 10 | 5 | 0.66 | 264 | 3.8 | 2.1 | 3 | 1206 | 12.7 | 6.35 | 0.635 | 254 | 4.8 | 2.7 | 4 | 2005 | 20 | 5 | 0.66 | 264 | 15 | 4.2 | 6 | 3306 | 33 | 5 | 0.508 | 203 | 32 | 7 | 8 | 3507 | 35 | 7 | 0.66 | 264 | 39 | 7.4 | 10 | 5009 | 50.8 | 9.5 | 0.66 | 264 | 52 | 10 | 17 | 7312 | 73.66 | 12.62 | 0.89 | 356 | 82 | 15 | 28 |
應(yīng)用： • 顯微鏡掃描器 • 光纖拉伸 • 光束掃描 • 光纖掃描 |
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