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產(chǎn)品名稱：閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：XYZ65N81E26

產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

產(chǎn)品特點(diǎn)：閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，該平臺(tái)配備了增量式編碼器，對(duì)運(yùn)動(dòng)行程、精度等可進(jìn)行精確控制，且精度可達(dá)1.5μm。

更新日期：2025-02-24

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XYZ65N81E26閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的詳細(xì)資料：

閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 特點(diǎn)：

XYZ三維運(yùn)動(dòng)

配有閉環(huán)增量式編碼器

行程±12.5mm/軸

納米級(jí)分辨率

精度達(dá)1.5μm

運(yùn)動(dòng)原理：XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是采用壓電螺釘驅(qū)動(dòng)，壓電螺釘?shù)倪\(yùn)動(dòng)是通過(guò)內(nèi)部壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)螺紋桿旋轉(zhuǎn)，從而沿著螺紋向前運(yùn)動(dòng)。螺紋桿的推動(dòng)，使得載物移動(dòng)平臺(tái)臺(tái)面的直線運(yùn)動(dòng)。

閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品設(shè)計(jì)的參數(shù)如下表所示。

型號(hào)	XYZ65N81E26
運(yùn)動(dòng)自由度	X
集成傳感器類型	增量式編碼器
標(biāo)稱行程范圍	±12.5mm
速度	50μm/s
閉/開(kāi)環(huán)分辨率	80nm
線性度	1.5μm
重復(fù)度	1.5μm
承載能力	1.5kg
工作溫度	0~50℃
質(zhì)量（包含電纜）	2.61kg
材質(zhì)	鋁、鋼
電纜長(zhǎng)度	1.5m
推薦控制器	E53.D1E

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