產(chǎn)品名稱：P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品報價：
產(chǎn)品特點：P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μmP66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用直驅(qū)式驅(qū)動機(jī)構(gòu)的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
更新日期：2021-09-08
特性 P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
應(yīng)用
• 光盤驅(qū)動測試 開閉環(huán)版本可選
傳感器使用全橋配置已消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現(xiàn)較高的線性度與重復(fù)度。
P66.X60一維X向壓電納米定位臺 60μm
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P66.X60S | P66.X60K | 單位 |
運(yùn)動自由度 | X | X | ||
行程（0~120V） | 48 | 48 | μm±20% | |
行程（0~150V） | 48 | 48 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS | - | ||
閉/開環(huán)分辨率 | 2 | 0.8 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <20 | <20 | µrad | |
推/拉力 | 160/16 | 160/16 | N | |
運(yùn)動方向剛度 | 2.8 | 2.8 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 1.3 | 1.3 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10 | 1.6 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 200 | 200 | Hz±20% |
行程 | 20 | 20 | ||
大承載 | 6 | 6 | kg | |
靜電容量 | 7.2 | 7.2 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | ||
重量 | 190 | 190 | g±5% | |
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