產(chǎn)品名稱：S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品報價：
產(chǎn)品特點：S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。
更新日期：2021-10-15
S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。
特性：
• θx, θy偏擺運動 • 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄
典型應(yīng)用
• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲
• 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng)
• 微操作 • 掩模與晶片位置調(diào)整
應(yīng)用實例
S54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光等領(lǐng)域。
閉環(huán)傳感精度高
S54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導向機構(gòu)采用有限 元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無空回、無摩擦。
采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad，分 辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S. 的重復定位精度。
臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為 80×80mm，P54壓電偏轉(zhuǎn)臺是亞微弧度精密光束調(diào)整、 計量、定位等應(yīng)用的選擇。
負載大鏡片
S54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透 射光的應(yīng)用，負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。
S54壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)參數(shù)：
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | S54.T2S S54.T2K | 單位 |
運動自由度 | θx, θy | ||
標稱偏擺角度 (0~+120V) | ±0.8/ 軸 | mrad±20% | |
大偏擺角度 (-20~+150V) | ±1.1/ 軸 | mrad±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | ||
閉/開環(huán)偏擺分辨率 | 0.25/0.05 | μrad | |
閉環(huán)線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復定位精度 | 0.1/- | %F.S. | |
推/拉力 | 40/8 | N | |
運動方向剛度 | 0.5 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 300 | Hz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 20/3.5 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% |
行程 | 15 | ||
大承載 | 1 | kg | |
靜電容量 | 3.6/ 軸 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋁、鋼 | ||
重量 | 510 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
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