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此次推文為大家?guī)硪豢钚久魈斓牧S壓電納米運動平臺-H61.XYZTR0S!

芯明天六軸壓電納米定位臺H61.XYZTR0S是一款六軸運動的壓電平臺，精度高、承載大，適用于靜態(tài)六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉(zhuǎn)，中心具有通孔，適于進行納米級高精度定位調(diào)節(jié)的透射光應(yīng)用。

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的驅(qū)動形式不同于六自由度結(jié)構(gòu)，它的外形更加常規(guī)化，運動區(qū)域局限于中心方形移動臺面，非常易于平臺與負載的安裝固定。

大型通孔，適于透光應(yīng)用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的中心具有50mm×50mm的方形通孔，非常適合透射光的應(yīng)用，如樣品的觀測與顯微成像等。

承載能力強，適于大負載應(yīng)用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的承載能力可達10.5kg！非常適合較大型樣品負載的六軸納米定位。

六軸納米定位，更高精度

        H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺在X Y方向的位移為80μm（或±40μm），Z向位移達35μm，θx θy方向的偏轉(zhuǎn)行程為0.7mrad/軸（或±0.35mrad/軸），θz方向的偏轉(zhuǎn)行程為0.3mrad/軸（或±0.15mrad/軸）。

        在如此小的運動范圍下，六軸壓電平臺可進行更加精確的納米級直線運動與納弧度級角度運動，為應(yīng)用環(huán)境提供超高精度的運動控制。

配套控制器 - E51.D7S壓電控制器

如下圖所示，E51.D7S壓電控制器是專用于驅(qū)動六軸壓電定位平臺而設(shè)計研發(fā)的低功耗、低紋波控制器，結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。與H61.XYZTR0S壓電定位平臺構(gòu)成高精度六軸納米定位系統(tǒng)。在E51.D7S壓電控制器的控制下，H61.XYZTR0S壓電定位平臺X、Y、Z、θx、θy、θz六個維度的操作與控制將更加靈活，即使在10kg的超大負載下。

使得H61.XYZTR0S壓電定位平臺的應(yīng)用范圍擴展到多個領(lǐng)域。

H61.XYZTR0S六軸定位系統(tǒng)

（圖左：E51.D7S壓電控制器，圖右：H61.XYZTR0S）

典型應(yīng)用

• 六軸超精密位置調(diào)整

• 棱鏡位置調(diào)整

• 光學應(yīng)用

• 透射光應(yīng)用

實測數(shù)據(jù)曲線

1）角度與電壓曲線

2）直線位移與電壓曲線

3）階躍時間曲線

技術(shù)參數(shù)

型號：H61.XYZTR0S

運動方向：X、Y、Z、θx、θy、θz

驅(qū)動控制：7路驅(qū)動

XYZ標稱行程范圍（0~120V）：         

XY：±32μm/軸        

Z：28μm

XYZ行程范圍（0~150V）：        

XY：±40μm/軸        

Z：35μm

θxθy 標稱偏轉(zhuǎn)行程（0~120V）：

±0.28mrad/軸

θz 標稱偏轉(zhuǎn)行程（0~120V）：

±0.12mrad/軸

θxθy 偏轉(zhuǎn)行程（0~150V）：

±0.35mrad/軸

θz 偏轉(zhuǎn)行程（0~150V）：

±0.15mrad/軸

空載諧振頻率：350Hz

負載10.5kg諧振頻率：50Hz

傳感器：SGS

承載能力：10.5kg

中心通孔：50mm×50mm

外形尺寸：L200×W200×H64 mm^3

使用方式：正向使用、靜態(tài)

靜電容量：       

 XYZ  29μF/軸        

θxθyθz  15μF/軸

重量：<4kg

材質(zhì)：鋼、鋁