納米定位臺為小體積1~3維壓電運動平臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優(yōu)化,柔性導向系統(tǒng)具有非常高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,運動平臺采用無磁材質,使用過程中不受磁場的影響,且壓電平臺體積小巧、結構緊湊易于集成。
考慮到納米定位臺將要運行的環(huán)境條件,對于獲得既定應用的所需結果非常重要。
這些條件包括:真空(HV,UHV等)磁場、溫度、濕氣、外部振動等。
納米定位臺可由各種材料制成,例如殷鋼,不銹鋼,鈦和鋁。每個都有優(yōu)點;但是,將壓電平臺的材料與外部系統(tǒng)的材料進行匹配以獲得最佳結果通常很重要。鋁是常用的材料,因為它具有良好的密度/剛度比。這對于需要磁場的應用也很好。Invar或SuperInvar之類的材料具有較低的熱系數(shù),當無法將溫度考慮因素隔離開時,它們可以提供穩(wěn)定性。不銹鋼可用于需要更高剛度以及很高溫度穩(wěn)定性的應用中。當強度,穩(wěn)定性和非磁性都非常重要時,可以考慮使用鈦合金材料。
定位臺可以在非磁性定位的環(huán)境中運行。平臺的設計考慮了特定的應用,并相應地由材料制成。可以針對特定應用設計壓電平臺,選擇本體材料是該過程的重要組成部分。大多數(shù)平臺都可以在中低真空下運行。
定位臺用于各種不同的環(huán)境。使用壓電平臺的設備中的振動可能導致性能低于預期指標。
外部的機械干擾,附近的設備以及聲音振動都可能導致定位不準確。為了獲得最佳結果,應使用振動隔離來幫助控制系統(tǒng)中的外部振動。
在外部環(huán)境中工作時,應使壓電納米定位系統(tǒng)不受潮。溫度的大變化會導致設備移出壓電平臺的控制范圍。應該對此類環(huán)境系統(tǒng)進行相應規(guī)劃以獲得最佳結果。