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P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設計，響應速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。

特性

• θx, θy 偏擺運動，Z向升降

• 閉環(huán)定位精度高

• 響應速度快

• 透光孔：80×80mm

典型應用

• 掃描顯微

• 激光合束對準與激光致盲

• 干涉/計量

• 空間擾動模擬系統(tǒng)

• 生物技術(shù)

• 掩模與晶片位置調(diào)整

超薄的設計適用于顯微應用

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。

仿真分析

通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導向機構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設計運動方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運動，因為鉸鏈機構(gòu)無間隙、無摩擦。

超高導向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高

P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達110μm。

P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導向結(jié)構(gòu)，采用有限元分析進行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導向精度。

可選擇內(nèi)置精密傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有的運動控制精度，直線運動分辨率可達到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。

頻率負載曲線

技術(shù)參數(shù)

注： 可定制超低溫版本及超高真空版本。 連接器可定制。

應用案例

激光合束

激光合束對準的裝置涉及激光合束對準技術(shù)領(lǐng)域、光電干擾技術(shù)領(lǐng)域及激光致盲干擾技術(shù)領(lǐng)域，系統(tǒng)目的是實現(xiàn)對目標的精密跟蹤與瞄準。激光發(fā)射系統(tǒng)是對激光束進行擴束、準直、聚焦的光學系統(tǒng)。為消除大氣抖動、湍流等因素對激光傳輸?shù)挠绊?，常采用自適應光學技術(shù)，通過實時修正可調(diào)二維擺鏡，提高激光合束對準精度保證激光束聚焦良好。

顯微成像

微位移驅(qū)動技術(shù)是精密測量與精密制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。隨著微納制造技術(shù)的快速發(fā)展，需求納米級驅(qū)動控制技術(shù)的領(lǐng)域越來越多。六自由度納米工作臺已成為微小器件表面形貌測量的全場并行共焦顯微鏡關(guān)鍵部件，它的驅(qū)動技術(shù)及驅(qū)動系統(tǒng)可實現(xiàn)微動平臺的快速調(diào)整、高精度定位和微型化。

光束掃描

偏擺臺/鏡是現(xiàn)代光機系統(tǒng)的重要組成部分之一，主要應用在高精光機系統(tǒng)的掃描跟蹤、光路調(diào)制和抖振抑制等。壓電偏擺臺可實現(xiàn)快速光束掃描，在保證精度的同時，并能保證快速跟蹤。非常適合應用在新一代的空間光機系統(tǒng)，如激光通信平臺、空間望遠鏡和偵查相機等。

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