芯明天壓電納米定位技術(shù)助力中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)，加速“中國(guó)芯”！
更新時(shí)間： 2018-05-14
哈爾濱芯明天科技有限公司專注于壓電納米定位技術(shù)近二十載，已發(fā)布眾多的壓電式直線及角度超精密定位產(chǎn)品，并不斷進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)，目前直線定位產(chǎn)品定位精度可達(dá)亞納米級(jí)，角度定位產(chǎn)品的定位精度可達(dá)納弧度級(jí)，重復(fù)度可達(dá)0.02%F.S.。
?哈爾濱芯明天科技有限公司作為中國(guó)的一個(gè)生產(chǎn)制造企業(yè)，正在并將持續(xù)不斷改進(jìn)我們的技術(shù)，提高產(chǎn)品的精度及質(zhì)量，助力于中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展！
芯明天壓電定位產(chǎn)品之壓電物鏡定位器
壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的，采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置可以帶動(dòng)鏡片進(jìn)行聚焦，顯著提高定位精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
利用芯明天壓電物鏡定位器進(jìn)行激光加工
?芯明天壓電物鏡定位器具有Z向納米級(jí)定位精度，它的主要應(yīng)用之一就是激光加工，例如晶圓切割。物鏡將激光束進(jìn)行聚焦，通過(guò)壓電物鏡定位器調(diào)整激光束加工點(diǎn)的位置，調(diào)整精度為納米級(jí)，且速度可達(dá)亞毫秒。
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激光加工之晶圓切割
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激光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦，再利用芯明天壓電物鏡定位器調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在切割材料上形成連續(xù)切割點(diǎn)從而達(dá)到切割的目的。
?芯明天壓電物鏡定位器部分參數(shù)：
型號(hào) | 聚焦范圍 [μm] | 分辨率 [nm] | zui大承載 [g] | 類型 |
P72.Z100 | 110 | 2.5 | 200 | 小體積 |
P73.Z500 | 550 | 7 | 400 | 大行程 |
P76.Z100 | 110 | 2.5 | 500 | 大負(fù)載 |
安裝結(jié)構(gòu)
為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過(guò)獨(dú)立的轉(zhuǎn)接件與顯微鏡和物鏡進(jìn)行連接。壓電物鏡定位器通過(guò)螺紋適配器安裝于顯微鏡與物鏡間。轉(zhuǎn)接件可選M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，同時(shí)芯明天也接受定制螺紋適配器。
芯明天壓電物鏡定位器可裝配多種品牌、尺寸物鏡
多種螺紋牙尺寸可選，可配置不同品牌的物鏡，也可選擇螺紋牙轉(zhuǎn)接器進(jìn)行轉(zhuǎn)接。螺紋尺寸可定制。
芯明天壓電物鏡定位器其他應(yīng)用舉例
白光干涉
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白光干涉技術(shù)以可見(jiàn)光為光源，光源發(fā)出的白光通過(guò)干涉物鏡后在半透射光學(xué)平面反射一半光強(qiáng)，另一半光強(qiáng)透射后照射在量測(cè)物表面并反射再次進(jìn)入干涉物鏡，與原光學(xué)平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天壓電物鏡定位器，準(zhǔn)確性高可達(dá)納米解析度，垂直掃描高度可達(dá)550μm。
原子力顯微鏡
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原子力探針的針部置于干涉顯微鏡的光軸上，產(chǎn)生干涉條紋由CCD接收，當(dāng)樣件移動(dòng)時(shí)，表面高度變化，引起原子力探針的變化，其變化量由白光干涉條紋計(jì)量。當(dāng)原子力探針的變化量超過(guò)預(yù)定閾值，探針拉回原位，實(shí)現(xiàn)原子力探針的跟蹤測(cè)量。
?差動(dòng)式聚焦檢測(cè)系統(tǒng)
差動(dòng)式聚焦檢測(cè)系統(tǒng)中，一束很強(qiáng)的匯聚激光投影到工件之上，聚焦鏡通過(guò)壓電物鏡定位器可垂直移動(dòng)，其移動(dòng)量由焦點(diǎn)誤差信號(hào)控制，焦點(diǎn)誤差信號(hào)探測(cè)它對(duì)真實(shí)表面的距離變動(dòng)。當(dāng)激光經(jīng)工件轉(zhuǎn)換并傳遞時(shí)，聚焦鏡通過(guò)反饋系統(tǒng)維持與工件的距離，該反饋系統(tǒng)是從像檢測(cè)器到由壓電物鏡定位器控制的聚焦鏡的一個(gè)轉(zhuǎn)換回路，聚焦鏡的運(yùn)動(dòng)量表示所測(cè)表面的粗糙度數(shù)值。
顯微光學(xué)成像
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顯微光學(xué)成像，通常也稱“光學(xué)顯微成像”，或“光學(xué)顯微術(shù)”（Optical Microscopy，或Light Microscopy），是指透過(guò)樣品或從樣品反射回來(lái)的可見(jiàn)光，通過(guò)一個(gè)或多個(gè)透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動(dòng)物鏡頭做Z向超精密運(yùn)動(dòng)，可使觀測(cè)精度達(dá)納米級(jí)。
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