N18系列小體積直線壓電馬達位移臺 - 低溫、無磁、真空兼容！
在科技高速迭代的今天，各行業(yè)對精密運動控制的追求不斷攀升，從前沿的半導體制造領域，到關乎生命健康的生物醫(yī)療領域，從探索宇宙奧秘的航空航天領域，到日常的智能電子設備，高精度、高可靠性的直線運動驅動需求無處不在。直線壓電馬達位移臺以其大行程、高精度和快速的響應速度等性能優(yōu)勢，成為推動眾多行業(yè)邁向新高度的核心力量。
芯明天部分直線壓電馬達位移臺
N18系列小體積直線壓電馬達位移臺- 低溫、無磁、真空兼容！
N18系列壓電馬達位移臺為直線運動平臺，內置高性能壓電陶瓷，利用粘滑原理驅動，通過特殊結構設計，將壓電陶瓷的直線微位移，轉換為宏動直線毫米行程，實現高精度定位。位移方向可選X向和Z向兩種運動方式，行程可達5mm，分辨率可達6nm，速度可達3mm/s，可在低溫、真空、無磁的應用環(huán)境中使用。小體積設計，便于部署與集成，為設備小型化、集成化發(fā)展注入強勁動力。產品外觀如下圖所示。
產品特點
運動自由度：X或Z行程可達5mm低溫、真空、無磁粘滑原理驅動工作溫度范圍：-40~50℃斷電自鎖
典型應用
半導體—光刻機掩模臺定位、晶圓加工檢測、激光直寫等，精度決定良率！
生物醫(yī)療—超分辨率顯微成像、細胞操作、納升配藥等，精準掌控生命科學！
精密光學—光學干涉、光路調整、激光加工等，讓光學系統(tǒng)更穩(wěn)定！
航空航天—衛(wèi)星激光通信、天文望遠鏡、穩(wěn)像等，保障關鍵任務執(zhí)行！
技術參數
| 型號 | N18.X5K | N18.Z5K | |
| 運動自由度 | X | Z | |
| 標稱行程范圍 | 5mm或±2.5mm | ||
| 速度上限 | 3mm/s | ||
| 分辨率 | 6nm | ||
| 推/拉力 | 3N | ||
| 保持力 ( 斷電自鎖） | 3N | ||
| 承載能力 | 水平安裝 | 250g | 150g |
| 加載后速度上限 | 水平安裝 | 3mm/s@250g | 2mm/s@150g |
| 工作溫度 | -40℃~50℃ | ||
| 出線長 | 1.5m | ||
| 材質 | 鈦 | ||
| 重量 | 19g | 40g | |
配套控制器
E53.C1K-J壓電控制器非常適用于驅動N18系列壓電馬達位移臺，它是單通道開環(huán)壓電控制器，采用數字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結構緊湊，易于集成。
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