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N18.Z5K壓電馬達(dá)內(nèi)部采用粘滑原理驅(qū)動(dòng)，將壓電陶瓷的微變形量，通過特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，輸出宏動(dòng)直線毫米行程，實(shí)現(xiàn)高精度定位。N18.Z5K為Z向升降式壓電馬達(dá)平臺(tái)，行程可達(dá)5mm，分辨率可達(dá)6nm，速度可達(dá)3mm/s，可在真空、低溫、無磁的應(yīng)用環(huán)境中使用。它的運(yùn)動(dòng)形式為整體運(yùn)動(dòng)面做Z向升降，可使帶載樣品四周不受遮擋，其尺寸僅為24×24×20mm^3，專為空間受限的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

Z向運(yùn)動(dòng)

行程可達(dá)5mm

分辨率可達(dá)6nm

負(fù)載能力可達(dá)0.15kg

速度可達(dá)3mm/s

真空、低溫、無磁環(huán)境適用
產(chǎn)品應(yīng)用

超分辨成像樣品移動(dòng)

光纖對(duì)接

納米聚焦與掃描

原子力顯微鏡

半導(dǎo)體精密定位

微納裝備及制造

技術(shù)參數(shù)

E53.C1K-J壓電控制器適用于驅(qū)動(dòng)N18.Z5K壓電馬達(dá)，它是單通道開環(huán)壓電控制器，采用數(shù)字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232，操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成。

配套控制器

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