新品推薦|XD605.X90一維大負(fù)載電容傳感壓電納米定位臺(tái)及配套電容閉環(huán)控制器
X向運(yùn)動(dòng)、大負(fù)載
電容式傳感器
三種位姿、易使用
產(chǎn)品應(yīng)用
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | XD605.X90C/K |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | X |
| 驅(qū)動(dòng)控制 | 1路驅(qū)動(dòng)，1路電容傳感 |
| 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 76μm |
| 行程范圍（0~150V） | 95μm |
| 傳感器 | CAP/- |
| 分辨率 | 3nm |
| 閉環(huán)線性度 | 0.02%F.S./- |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.005%F.S./- |
| 俯仰 | <5μrad |
| 偏航 | <5μrad |
| 滾動(dòng) | <5μrad |
| 空載諧振頻率 | 615Hz |
| 帶載諧振頻率@5kg | 310Hz |
| 閉環(huán)階躍時(shí)間@5kg | 8ms@20μm |
| 承載能力 | 正立10kg |
| 臥式5kg | |
| 倒置10kg | |
| 靜電容量 | 37μF |
| 材質(zhì) | 鋁合金 |
| 重量（含線） | 5.7kg |
配套控制器
17051647888
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