P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器!
特點(diǎn)
行程200μm
承載能力0.2kg
毫秒級響應(yīng)時(shí)間
閉環(huán)重復(fù)定位精度高
聚焦穩(wěn)定性好
典型應(yīng)用
三維成像
干涉/計(jì)量
生物科技
表面結(jié)構(gòu)分析
共焦顯微
半導(dǎo)體測試
開/閉環(huán)控制電壓與位移曲線
注:施加至壓電物鏡定位器的電壓約為控制輸入電壓的12倍。
螺紋適配器便于安裝
P73.Z200系列壓電物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在預(yù)期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等,也可定制,便于與顯微鏡集成安裝??善ヅ洳趟尽⒛峥?、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過適配器與手動調(diào)節(jié)臺相結(jié)合使用。
技術(shù)參數(shù)
型號:P73.Z200S
運(yùn)動自由度:Z
標(biāo)稱行程范圍:160μm@120V
行程范圍:200μm@150V
傳感器類型:SGS
閉/開環(huán)分辨率:11/5nm
閉環(huán)線性度:0.1%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.05%F.S.
推/拉力:80/10N
運(yùn)動方向剛度:0.25N/μm
空載諧振頻率:210 Hz
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間:20/10ms
閉環(huán)空載工作頻率:40Hz@10%行程
閉環(huán)空載工作頻率:10Hz@行程
承載能力:0.2 kg
靜電容量:7.2μF
材質(zhì):鋼、鋁
重量:360g
注:以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得。大驅(qū)動電壓可在-20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在0~120V。
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