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顯微光學(xué)成像是指透過(guò)樣品或從樣品反射回來(lái)的可見光，通過(guò)一個(gè)或多個(gè)透鏡后，能夠得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)，其中大行程、高精度機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器可帶動(dòng)樣品做Z向超精密運(yùn)動(dòng)，可使觀測(cè)精度達(dá)到納米級(jí)。

機(jī)構(gòu)放大式壓電促動(dòng)器是一種通過(guò)機(jī)械放大結(jié)構(gòu)將預(yù)載的低壓壓電陶瓷疊堆產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大并垂直輸出的促動(dòng)器。

機(jī)械放大結(jié)構(gòu)為橢圓形機(jī)械殼體，它的材料一般為鋼，它對(duì)壓電疊堆陶瓷除了提供優(yōu)化預(yù)緊力外，也對(duì)疊堆陶瓷起到保護(hù)作用，使其免于承受拉力，拉力對(duì)壓電疊堆陶瓷會(huì)產(chǎn)生不可逆甚至致命的損壞。橢圓機(jī)械放大結(jié)構(gòu)也為用戶提供了易于集成的機(jī)械接口。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P06.X500R

位移行程：560μm

運(yùn)動(dòng)方向出力：100N

剛度：0.25N/μm

靜電容量：10.8μF

空載諧振頻率：170Hz

開環(huán)曲線

典型應(yīng)用

• 探針掃描

• 光開關(guān)、快門/快門防抖

• 激光腔調(diào)諧

• 光纖拉伸

• 器件疲勞度監(jiān)測(cè)

• 測(cè)流技術(shù)

• 液滴發(fā)生器

推薦控制器

可配套芯明天單通道小體積E53系列壓電控制器，實(shí)現(xiàn)Z向高精度定位控制。