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P92.X40快速刀具定位臺內(nèi)部采用高壓壓電陶瓷驅(qū)動，驅(qū)動電壓為0~1000V，出力可達(dá)3000N。該快速刀具定位臺可產(chǎn)生一維X向的微進(jìn)給運(yùn)動，進(jìn)給范圍可達(dá)40μm，且集成閉環(huán)傳感器，可保證操作時控制電壓與位移間的線性關(guān)系。另外，它的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)堅(jiān)固，且配有散熱接口。

特點(diǎn)：

● 行程達(dá)40μm   ● 驅(qū)動電壓0~1000V  ● 出力達(dá)3000N  ● 閉環(huán)分辨率達(dá)10nm  ● 散熱孔

技術(shù)參數(shù)：

型號：P92.X40

標(biāo)稱行程范圍（0-800V）：32μm

行程范圍（0-1000V）：40μm

傳感器類型：SGS

落后相位（1μm/1Khz ）：＜20°

落后相位（5μm/500hz ）：＜10°

推力：3000N

運(yùn)動方向剛度：100N/μm

空載諧振頻率：3975Hz

閉環(huán)線性度：<0.1%F.S

閉環(huán)重復(fù)定位精度：<0.1%F.S

閉環(huán)分辨率：10nm

靜電容量：540nF

材質(zhì)：鋼

開環(huán)位移曲線

注：上圖中，實(shí)際施加到快刀定位臺的電壓值為輸入電壓的100倍。

閉環(huán)精度曲線

閉環(huán)分辨率

1

增益曲線

1

相位曲線

1

溫升曲線

1）1kHz、1μm工作條件下溫升曲線

2）500Hz、5μm工作條件下溫升曲線

3）200Hz、400V工作條件下溫升曲線