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壓電平臺(tái)的特點(diǎn)是納米級(jí)高分辨率、毫秒至亞毫秒級(jí)響應(yīng)速度、納米級(jí)定位精度等，因此它非常適于快速、的位置調(diào)節(jié)應(yīng)用，如樣品的顯微聚焦、微結(jié)構(gòu)的超精密加工、光路的調(diào)整、毫牛級(jí)力的控制、圖像的穩(wěn)定及分辨率增強(qiáng)、白光干涉等等。

壓電平臺(tái)的位移一般在幾百微米至毫米范圍，而在很多應(yīng)用場(chǎng)景中，都需要宏動(dòng)平臺(tái)（毫米級(jí)行程的手調(diào)臺(tái)、電動(dòng)臺(tái)等）的輔助，在進(jìn)行大范圍的粗調(diào)后，再通過壓電平臺(tái)進(jìn)行納米級(jí)調(diào)節(jié)。

針對(duì)該類要求，芯明天提供定制化集成手調(diào)平臺(tái)或電動(dòng)平臺(tái)的壓電平臺(tái)，從而既可完成位置的粗調(diào)，又可完成納米級(jí)精度的精調(diào)。下圖所示，為一款定制型宏微復(fù)合壓電平臺(tái)，集成手調(diào)臺(tái)的壓電平臺(tái)。

該款宏微復(fù)合壓電平臺(tái)的粗調(diào)為XY方向，每軸行程為13mm，讀數(shù)精度為10μm；壓電平臺(tái)精調(diào)部分的行程為100μm，精調(diào)分辨率達(dá)7nm，并且壓電部分配有位置傳感器，定位精度非常高。

詳細(xì)參數(shù)如下。

粗調(diào)運(yùn)動(dòng)自由度：XY

粗調(diào)行程范圍：13mm/軸

粗調(diào)讀數(shù)精度：10μm

精調(diào)運(yùn)動(dòng)自由度：Z

精調(diào)行程范圍：100μm

傳感器類型：SGS

閉環(huán)分辨率：7nm

閉環(huán)線性度：0.2%F.S.

重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

承載能力：300g

通孔尺寸：φ48mm