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P77系列壓電式移相器

更新時間: 2019-03-18

P77.D4 壓電式移相器為大口徑移相器,中心通孔孔徑分別為160mm,特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計,與光學(xué)平面檢測儀相匹配。

 

特點(diǎn)

· 一維 Z 向運(yùn)動

· 分辨率可達(dá)0.5nm

· 通孔尺寸為Ø160mm

· 行程范圍20μm

· 大承載10kg

承載能力

P77.D4 的承載能力高達(dá)10kg。

 

多點(diǎn)位移測量

出廠前,對多個點(diǎn)進(jìn)行位移測量,保證運(yùn)動的直線度。

 

步進(jìn)曲線

 

開環(huán)曲線

 

技術(shù)參數(shù)

 

以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測得

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