通過壓電納米定位臺進行力的閉環(huán)控制
*，由壓電陶瓷驅動的壓電納米定位臺，可完成納米量級的步進，并且，壓電納米定位臺的步進是通過電壓信號控制，產生的總位移與電壓信號成線性關系。
此外，壓電納米定位臺也可產生出力，且出力也與電壓信號成線性關系。
通過芯明天壓電納米定位臺配合探針系統(tǒng)、力傳感器等搭建一套力閉環(huán)系統(tǒng)，從而可進行較特殊、高精度的材料表面微加工。
力閉環(huán)控制的基本結構如下圖所示。
1. 芯明天P84壓電測微頭，進行位置的粗精調節(jié)；
2. 芯明天XP-63X系列壓電納米定位臺，帶動探針做微米級運動，并控制探針與工件的接觸、接觸深度與分離；
3. 芯明天Z向宏動臺，進行位置的粗略調整；
4. 遮罩；
5. 彈性探針系統(tǒng)；
6. 表面光滑的待加工件；
7. 力傳感器，用于標定。
首先，通過芯明天壓電控制器驅動控制壓電納米定位臺，使其位移從0逐漸升至大位移處，同時通過力傳感器將隨之變化的出力值進行采集、記錄，對彈性探針系統(tǒng)及壓電納米定位臺產生的位移與出力間進行標定。
標定好后，即可使用該系統(tǒng)進行材料表面的微加工。
