壓電掃描臺|P15系列|新品發(fā)布
P15壓電掃描臺是快速、高精度的三軸掃描和納米定位臺,具有非常高的直線度。中心通孔直徑48mm,非常適于透射光應用,如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。
特點:
行程范圍為370 x 370 x270μm;
可選配應變式閉環(huán)傳感器;
無摩擦、高精度撓性導向系統(tǒng);
掃描平整度高;
通孔直徑48 mm。
應用:掃描顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉、度量衡學、生物技術(shù)、微操作等。
P15壓電掃描臺XY方向的運動行程為370μm,Z向的運動行程為270μm,它的內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。 FEA使其設計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動小化。
P15壓電掃描臺可選配閉環(huán)反饋傳感器,可提供更高的定位精度,非常適合高精度定位應用。
閉環(huán)上升曲線
與常規(guī)的閉環(huán)壓電掃描臺相比,P15系列在外觀上略有不同,它的臺體上具有兩個出線孔,分別為PZT供電引線及閉環(huán)信號反饋引線。并且,P15系列壓電掃描臺的移動面,較臺體平面高出一部分,更易辨別。
P15壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)
型號:P15.XYZ300S
XY標稱行程范圍:370(±185)µm/軸
Z標稱行程范圍:270µm
傳感器類型:SGS
閉/開環(huán)分辨率:8/5nm
閉環(huán)線性度:0.2%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.15%F.S.
運動方向剛度:X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm
空載諧振頻率:X120/Y150/Z250 Hz
大承載:0.5Kg
XY靜電容量:21μF
Z靜電容量:7.2μF
材質(zhì):鋁
重量:900g
應用案例
納米光刻
首先計算機將BMP圖轉(zhuǎn)化為灰度圖,然后再通過控制系統(tǒng)控制壓電掃描臺,帶動鍍膜鏡片在0-300μm范圍內(nèi)對讀取的圖像信息進行優(yōu)化,同時控制激光器及掃描臺,二者配合完成BMP圖的納米定位加工。
AFM原子力顯微鏡
閉環(huán)納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分,可帶動樣品進行高速精密運動,可以實現(xiàn)X、Y、Z軸280μm的掃描,分辨率為亞納米級,響應時間可達亞毫秒。
干涉
壓電掃描臺的Z向的納米級的微運動,調(diào)整待測物的位置,從而改變對應的干涉條紋的寬度及位置,以達到更的表面測量。
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