四虎4hu新地址入口2023,国产精品久久久久久A,午夜精品久久久久久久99黑人,欧美日韩国产综合一区二区

歡迎來哈爾濱芯明天科技有限公司!我們將為您提供到位的服務!
首頁 > 技術(shù)文章 > 壓電掃描臺|P15系列|新品發(fā)布

壓電掃描臺|P15系列|新品發(fā)布

更新時間: 2018-11-05

P15壓電掃描臺是快速、高精度的軸掃描和納米定位,具有非常高的直線度。中心通孔直徑48mm,非常適于透射光應用,如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。

 

特點:

行程范圍為370 x 370 x270μm;

可選配應變式閉環(huán)傳感器;

無摩擦、高精度撓性導向系統(tǒng);

掃描平整度高;

48 mm。

 

應用:掃描顯微鏡、掩模/晶圓定位、干涉、度量衡學、生物技術(shù)、微操作等。

 

P15壓電掃描臺XY方向的運動行程為370μmZ向的運動行程為270μm,它的內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割鉸鏈結(jié)構(gòu)。 FEA使設計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動小化。

 

P15壓電掃描臺可選配閉環(huán)反饋傳感器,可提供更高的定位精度,非常適合高精度定位應用。

 

閉環(huán)上升曲線

與常規(guī)的閉環(huán)壓電掃描臺相比,P15系列在外觀上略有不同,它的臺體上具有兩個出線孔,分別為PZT供電引線及閉環(huán)信號反饋引線。并且,P15系列壓電掃描臺的移動面,較臺體平面高出一部分,更易辨別。

 

P15壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)

型號P15.XYZ300S

XY標稱行程范圍370(±185)µm/軸

Z標稱行程范圍270µm

傳感器類型SGS

閉/開環(huán)分辨率8/5nm

閉環(huán)線性度0.2%F.S.

閉環(huán)重復定位精度0.15%F.S.

運動方向剛度X0.1/Y0.1/Z0.1N/µm

空載諧振頻率X120/Y150/Z250 Hz

大承載0.5Kg

XY靜電容量21μF

Z靜電容量7.2μF

材質(zhì)

重量900g

 

應用案例

納米光刻

首先計算機將BMP圖轉(zhuǎn)化為灰度圖,然后再通過控制系統(tǒng)控制壓電掃描臺,帶動鍍膜鏡片在0-300μm范圍內(nèi)對讀取的圖像信息進行優(yōu)化,同時控制激光器及掃描臺,二者配合完成BMP圖的納米定位加工。

 

AFM原子力顯微鏡

閉環(huán)納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分,可帶動樣品進行高速精密運動,可以實現(xiàn)X、Y、Z軸280μm的掃描,分辨率為亞納米級,響應時間可達亞毫秒。

 

干涉

壓電掃描臺的Z向的納米級的微運動,調(diào)整待測物的位置,從而改變對應的干涉條紋的寬度及位置,以達到更的表面測量。

 

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路191號創(chuàng)業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層
聯(lián)系人:楊先生
手機號碼:17051647888
固定電話:0451-86268790

哈爾濱芯明天科技有限公司()主營:壓電促動器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器

哈爾濱芯明天科技有限公司 版權(quán)所有  ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng)  網(wǎng)站地圖

国产中文字幕一区| 日本亚洲最大的色成网站www| 夫妇交换聚会群4P大战图片| 五月婷婷丁香| 天天躁日日躁AAAAXXXX| 桃色av| 综合在线观看欧洲| 日韩高清无码jiujiu| 尤物网高清视频在线观看| 久久精品免费国产一区| 久久久噜久噜久久综合| 明水县| 国产婷婷精品A∨在线| 亚洲色图综合网| 中文字幕 人妻在线| 男女男精品网站| 激情五月天影院| 欧美8888888| 五月婷婷免费图文| 亚洲AV日韩A| 国产一级一片免费播放放a| 五华县| 9l精品国产高清一区二区三区| 亚洲AV网址一区二区| 久久久久久久久免费精品一区| 99国产欧美久久久精品| 国产精品久久久久久久泡妞| 日韩欧美久久2| 免费黄色日本在线观看| 欧美日韩后| 亚洲欧美130080| 91色哟哟在线观看| 亚洲中文无码AV永久伊人| 玖玖99国产精品| 日韩人妻诱惑| 香蕉网官网| 国产午夜三级一区二区三| 涩爱av无码一区二区三区| 夜夜骑日本黄色成人免费网站| 成人高考时间| 日日夜夜撸|