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適用于光透射及光反射的中空式壓電傾斜鏡

更新時(shí)間: 2018-05-18

 

P36中空式壓電偏轉(zhuǎn)掃描鏡

(具有Φ10mm通光孔)

 

P36中空式壓電偏轉(zhuǎn)鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑,是專為光的透射(例如,光過濾)及反射應(yīng)用而設(shè)計(jì)。作為壓電偏轉(zhuǎn)鏡,它既可產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)又可產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng),對(duì)光束的偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)1.6mrad;作為移相器,它的直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)12µm,也適于調(diào)節(jié)光的路徑長度。響應(yīng)速度快,可達(dá)亞毫秒。

 

特點(diǎn):

用于掃描、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)及鏡子移動(dòng)裝置對(duì)準(zhǔn);

Φ10mm中心通光孔;

壓電三腳設(shè)計(jì);

光束偏轉(zhuǎn)可達(dá)1.6mrad;

活塞運(yùn)動(dòng)可達(dá)12μm(移相器);

亞毫秒響應(yīng),亞微弧度分辨率;

閉環(huán)版本具有更高精度;

用于光學(xué)、鏡片或其他部件;

無摩擦,高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng);

平行運(yùn)動(dòng)學(xué)擴(kuò)展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度。

 

應(yīng)用案例

圖像處理/穩(wěn)定;

干涉法;

激光掃描/光束偏轉(zhuǎn);

激光調(diào)諧;

光過濾/開關(guān);

光束穩(wěn)定等。

 

 P36偏轉(zhuǎn)鏡介紹
 
 

P36多軸俯仰/偏轉(zhuǎn)平臺(tái)及Z向定位臺(tái)是基于壓電三腳式設(shè)計(jì)的快速、緊湊型元件。三腳式設(shè)計(jì)的特點(diǎn)是在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。

該壓電偏轉(zhuǎn)鏡設(shè)計(jì)可將鏡片或光學(xué)元件安裝在任意方向,且中空設(shè)計(jì)非常適于光過濾等。

P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的三腳驅(qū)動(dòng)方式,可在較大的溫度范圍內(nèi)提供*化的角度穩(wěn)定性;體積更小巧;兩軸具有相同的偏轉(zhuǎn)角度及相同的動(dòng)態(tài)性能;更快的響應(yīng)及更好的線性度;同時(shí)也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。

內(nèi)部三支壓電陶瓷促動(dòng)器是由三通道控制器來分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)(用于俯仰/偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng))或者同時(shí)并聯(lián)驅(qū)動(dòng)(直線升降運(yùn)動(dòng))。

結(jié)構(gòu)示意圖

 

 開環(huán)模式下使用
 
 

        在開環(huán)模式下,俯仰/偏轉(zhuǎn)角度與施加電壓基本成線性關(guān)系。P36開環(huán)型號(hào)非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的(例如跟蹤)或由外部傳感(例如CCD,PSD)提供反饋的應(yīng)用。

 

 控制及運(yùn)動(dòng)方式

 
 

1、開環(huán)Z向平臺(tái)控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接,提供頂部環(huán)在垂直方向的定位(活塞運(yùn)動(dòng))。只需一個(gè)驅(qū)動(dòng)通道。

2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)定位器控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器由一個(gè)三通道壓電放大器分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)(或并聯(lián))??蓪?shí)現(xiàn)垂直(活塞運(yùn)動(dòng))定位及俯仰/偏轉(zhuǎn)定位。

 

高可靠性及長壽命

 
 

緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預(yù)緊力的高性能壓電促動(dòng)器,集成到一個(gè)成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。內(nèi)部壓電促動(dòng)器為共燒型壓電陶瓷,提供非常好的性能及可靠性。

 

可配備鏡片轉(zhuǎn)接座

 
 

P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器可選擇配套鏡片轉(zhuǎn)接座,以方便鏡片的安裝與固定,如下圖所示。

  頻率負(fù)載曲線

 
 

P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的使用頻率與振動(dòng)幅度、負(fù)載情況、安裝方式等條件有關(guān)。下圖為P36隨負(fù)載的增加諧振頻率的變化曲線。

 

P36基本技術(shù)參數(shù)

 
 

 

型號(hào),開環(huán)-K

移相器

偏轉(zhuǎn)鏡

單位

P36.Z1K

P36.ZT1K 

運(yùn)動(dòng)自由度

Z

Z、θx、θy

 

運(yùn)動(dòng)和定位

zui大偏轉(zhuǎn)角度
θx、θy

-

800

μrad±20%

Z向zui大行程

12

12

µm±20%

偏轉(zhuǎn)分辨率

-

0.02

µradtyp.

直線分辨率

0.1

0.1

nm,typ.

機(jī)械性能

空載諧頻

7.5

7.5

kHz±20%

空載工作頻率
10%行程

2000

1500

Hz±20%

空載工作頻率
行程

200

150

Hz±20%

階躍時(shí)間(響應(yīng)時(shí)間)

0.5

0.5

ms±20%

驅(qū)動(dòng)性能

靜電容量

0.4

0.4

μF/軸±20%

其他

工作溫度范圍

-20~80

°C

外形尺寸(直徑-內(nèi)徑/高)

20-10/19.5

mm

注:超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數(shù)可定制。

 

 P36驅(qū)動(dòng)與控制

 
 

光束偏轉(zhuǎn)角度為機(jī)械偏轉(zhuǎn)角度的兩倍。為了達(dá)到zui大偏轉(zhuǎn)角度,內(nèi)部三支陶瓷促動(dòng)器需要有偏置電壓75V。而由于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì),直線行程和偏轉(zhuǎn)行程都是獨(dú)立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡單參數(shù)。

E01

E53.A

E70

 

 

 

3路輸出

模擬、上位機(jī)通信、旋鈕

開環(huán)閉環(huán)

平均功率7W

1路輸出

模擬輸入

開環(huán)

平均功率10W

3路輸出

模擬與數(shù)字控制

開環(huán)閉環(huán)

平均功率5W/通道

(具有Φ10mm通光孔)

 

P36中空式壓電偏轉(zhuǎn)鏡的中心具有直徑10mm的通光孔徑,是專為光的透射(例如,光過濾)及反射應(yīng)用而設(shè)計(jì)。作為壓電偏轉(zhuǎn)鏡,它既可產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)又可產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng),對(duì)光束的偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)1.6mrad;作為移相器,它的直線運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)12µm,也適于調(diào)節(jié)光的路徑長度。響應(yīng)速度快,可達(dá)亞毫秒。

 

特點(diǎn):

用于掃描、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)及鏡子移動(dòng)裝置對(duì)準(zhǔn);

Φ10mm中心通光孔;

壓電三腳設(shè)計(jì);

光束偏轉(zhuǎn)可達(dá)1.6mrad;

活塞運(yùn)動(dòng)可達(dá)12μm(移相器);

亞毫秒響應(yīng),亞微弧度分辨率;

閉環(huán)版本具有更高精度;

用于光學(xué)、鏡片或其他部件;

無摩擦,高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng);

平行運(yùn)動(dòng)學(xué)擴(kuò)展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度。

 

應(yīng)用案例

圖像處理/穩(wěn)定;

干涉法;

激光掃描/光束偏轉(zhuǎn);

激光調(diào)諧;

光過濾/開關(guān);

光束穩(wěn)定等。

 

 P36偏轉(zhuǎn)鏡介紹
 
 

P36多軸俯仰/偏轉(zhuǎn)平臺(tái)及Z向定位臺(tái)是基于壓電三腳式設(shè)計(jì)的快速、緊湊型元件。三腳式設(shè)計(jì)的特點(diǎn)是在較寬的溫度范圍內(nèi)具有優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。

該壓電偏轉(zhuǎn)鏡設(shè)計(jì)可將鏡片或光學(xué)元件安裝在任意方向,且中空設(shè)計(jì)非常適于光過濾等。

P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的三腳驅(qū)動(dòng)方式,可在較大的溫度范圍內(nèi)提供*化的角度穩(wěn)定性;體積更小巧;兩軸具有相同的偏轉(zhuǎn)角度及相同的動(dòng)態(tài)性能;更快的響應(yīng)及更好的線性度;同時(shí)也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。

內(nèi)部三支壓電陶瓷促動(dòng)器是由三通道控制器來分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)(用于俯仰/偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng))或者同時(shí)并聯(lián)驅(qū)動(dòng)(直線升降運(yùn)動(dòng))。

結(jié)構(gòu)示意圖

 

 開環(huán)模式下使用
 
 

        在開環(huán)模式下,俯仰/偏轉(zhuǎn)角度與施加電壓基本成線性關(guān)系。P36開環(huán)型號(hào)非常適于高速、高分辨率、且角度定位是次要的(例如跟蹤)或由外部傳感(例如CCD,PSD)提供反饋的應(yīng)用。

 

 控制及運(yùn)動(dòng)方式

 
 

1、開環(huán)Z向平臺(tái)控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接,提供頂部環(huán)在垂直方向的定位(活塞運(yùn)動(dòng))。只需一個(gè)驅(qū)動(dòng)通道。

2、開環(huán)Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)定位器控制方式

內(nèi)部三支壓電直線陶瓷促動(dòng)器由一個(gè)三通道壓電放大器分別單獨(dú)驅(qū)動(dòng)(或并聯(lián))??蓪?shí)現(xiàn)垂直(活塞運(yùn)動(dòng))定位及俯仰/偏轉(zhuǎn)定位。

 

高可靠性及長壽命

 
 

緊湊的P36系統(tǒng)配備加有預(yù)緊力的高性能壓電促動(dòng)器,集成到一個(gè)成熟的、通過FEA建模分析的、彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)。內(nèi)部壓電促動(dòng)器為共燒型壓電陶瓷,提供非常好的性能及可靠性。

 

可配備鏡片轉(zhuǎn)接座

 
 

P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡/移相器可選擇配套鏡片轉(zhuǎn)接座,以方便鏡片的安裝與固定,如下圖所示。

  頻率負(fù)載曲線

 
 

P36壓電偏轉(zhuǎn)鏡的使用頻率與振動(dòng)幅度、負(fù)載情況、安裝方式等條件有關(guān)。下圖為P36隨負(fù)載的增加諧振頻率的變化曲線。

 

P36基本技術(shù)參數(shù)

 
 

 

型號(hào),開環(huán)-K

移相器

偏轉(zhuǎn)鏡

單位

P36.Z1K

P36.ZT1K 

運(yùn)動(dòng)自由度

Z

Z、θx、θy

 

運(yùn)動(dòng)和定位

zui大偏轉(zhuǎn)角度
θx、θy

-

800

μrad±20%

Z向zui大行程

12

12

µm±20%

偏轉(zhuǎn)分辨率

-

0.02

µrad,typ.

直線分辨率

0.1

0.1

nm,typ.

機(jī)械性能

空載諧頻

7.5

7.5

kHz±20%

空載工作頻率
10%行程

2000

1500

Hz±20%

空載工作頻率
行程

200

150

Hz±20%

階躍時(shí)間(響應(yīng)時(shí)間)

0.5

0.5

ms±20%

驅(qū)動(dòng)性能

靜電容量

0.4

0.4

μF/軸±20%

其他

工作溫度范圍

-20~80

°C

外形尺寸(直徑-內(nèi)徑/高)

20-10/19.5

mm

注:超低溫版本、超高真空版本及連接器等參數(shù)可定制。

 

 P36驅(qū)動(dòng)與控制

 
 

光束偏轉(zhuǎn)角度為機(jī)械偏轉(zhuǎn)角度的兩倍。為了達(dá)到zui大偏轉(zhuǎn)角度,內(nèi)部三支陶瓷促動(dòng)器需要有偏置電壓75V。而由于平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì),直線行程和偏轉(zhuǎn)行程都是獨(dú)立的。

以下為推薦配套使用的壓電控制器及簡單參數(shù)。

E01

E53.A

E70

 

 

 

3路輸出

模擬、上位機(jī)通信、旋鈕

開環(huán)閉環(huán)

平均功率7W

1路輸出

模擬輸入

開環(huán)

平均功率10W

3路輸出

模擬與數(shù)字控制

開環(huán)閉環(huán)

平均功率5W/通道

 
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